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發(fā)布時間： 2022-06-15　　點擊次數(shù)： 763次

 

　　英?？嫡婵沼?/span>又稱規(guī)，是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能，利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)；利用氣體力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和電熱偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
 

　　按照英?？嫡婵沼?/strong>測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
 

　　利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
 

　　波爾登規(guī)(Bourdon)
 

　　細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。
 

　　這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
 

　　薄膜電容規(guī)
 

　　在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
 

　　這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
 

　　這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數(shù)小時。
 

　　皮拉尼電阻規(guī)
 

　　也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
 

　　由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
 

　　如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
 

　　這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
 

　　由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。

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